Современное состояние, проблемы и пути развития технологии и оборудования микролитографии.

Web-страница: http://www.mikron.ru/rev4.html

Рассмотрены пути совершенствования технологии микролитографии на основе совершенствования оборудования, материалов и за счет перехода к более коротковолновому ультрафиолетовому излучению с применением проекционных оптических систем с более высоким значением числовой апертуры объективов.

Тематический рубрикатор: Материаловедение. Технология конструкционных материалов/Методы обработки поверхностей, Материаловедение. Технология конструкционных материалов/Методы обработки поверхностей/Нанесение покрытий
Тип ресурса: Дополнительные информационные материалы, Интернет-публикация научно-популярного характера, Научные материалы, Статья
Уровень образования: Высшее