Приборы на некристаллических полупроводниках
19.11.2003 18:39
Представлены описания лабораторных работ, проводимых на кафедре ФЭМАЭК МЭИ и графические материалы к лекционным курсам "физика и технология некристаллических полупроводников" и "приборы на некристаллических полупроводниках".
Тонкие пленки и субмикронная технология.Рабочая программа
11.11.2003 15:42
Рабочая программа курса "Тонкие пленки и субмикронная технология". Понятия о тонких
пленках, низкоразмерных структурах и субмикронной технологии. Значение тонкопленочных
технологических процессов для развития микроэлектроники.