Физико-химические способы обработки
Приведены схемы и физико-химические основы анодно-механической и электрохимической обработки, технологические возможности процессов и области рационального применения
Развитие технологии цифровых интегральных схем на GaAs
Представлена концепция развития технологии цифровых интегральных схем на арсениде галлия и других полупроводниковых соединениях. Рассмотрены технологические проблемы обработки поверхностного слоя и характеристики качества поверхности. Представлены описания технологий ионной и жидкостной очистки поверхности, ионной имплантации, осаждения слоев.
![[Каталог ресурсов]](/images/m_catalog_p.gif){kind=small}
![[Программы. Методики. Право.]](/images/m_education_p.gif){kind=small}
![[Электронный журнал]](/images/m_journal_p.gif){kind=small}
![[Личный кабинет]](/images/m_cabinet_p.gif){kind=small}
