Общепрофессиональные ресурсы/Материаловедение. Технология конструкционных материалов/Методы обработки поверхностей/Другие методы обработки

Представлена концепция развития технологии цифровых интегральных схем на арсениде галлия и других полупроводниковых соединениях. Рассмотрены технологические проблемы обработки поверхностного слоя и характеристики качества поверхности. Представлены описания технологий ионной и жидкостной очистки поверхности, ионной имплантации, осаждения слоев.